10월 17일자 <YTN>은 국내 최초로 EUV 노광기술을 연구한 선구자, 한양대학교 신소재공학부 안진호 토토사이트 들어가는법와의 인터뷰를 소개했다.

안 교수는 “노광기술이란 설계된 회로의 패턴을 빛을 이용해서 실리콘 웨이퍼 위에 복사해내는 기술”이라고 설명했다. 그는 “짧은 파장의 빛을 이용하면 더 작은 이미지를 복사할 수 있다”라며 “현재 가장 많이 사용하고 있는 최첨단 노광기술은 193nm를 사용하는 ‘ArF 노광기술’이라고 하는 것인데 내가 연구하고 있는 분야는 193nm보다 파장이 14분의 1 정도로 아주 짧은 극자외선, 영어로는 EUV 노광기술이다”라고 말했다.

안 교수는 현재 EUV 노광기술에서 가장 핵심적인 소재를 개발 중에 있다. 바로 반도체 회로 패턴의 설계도 역할을 하는 ‘EUV 마스크’이다.

그는 “기존에는 빛이 통과하느냐 통과하지 않느냐로 이미지를 구성했다고 하면 EUV 마스크라고 하는 것은 빛을 반사하느냐 반사하지 않느냐는 원리를 이용한다. 이를 위해 2nm~3nm 정도의 얇은 박막을 적층해서 EUV라는 짧은 파장을 반사하는 반사경 소재 위에 EUV 광을 잘 흡수하는 흡수체 소재를 활용하게 된다”라고 설명했다.

또한 안 토토사이트 들어가는법는 연구실에서 하는 연구에서 나아가 기술의 사업화를 위해 힘쓰고 있다.

그는 “공과대학 교수는 연구실에서 연구만 하는 걸로 그쳐서는 안 되고 사업화로 연계해야 연구의 가치를 가질 수 있다”라며 “저와 제 동료들, 같이 일하고 있는 기업들이 가지고 있는 기술을 소개하고 기술의 사업화를 돕기 위해서 여러 사람을 만나고 그들을 또 다른 사람에게 연결해 주는 역할을 하고 있다”라고 말했다.

안 교수는 EUV 노광기술에 관한 전문 서적 ‘EUV Lithography’의 EUV 마스크, EUV 검사 기술 분야의 집필에 참여했다. 그는 “전 세계에서 내노라하는 전문가들이 모여서 집필하는데 나에게 집필을 권유하는 제안이 왔을 때 전문가로서 인정받았다는 자부심이 생겼다”라고 밝혔다.

안 토토사이트 들어가는법는 우리나라 유일의 반도체 EUV 장비 제조 기업과 좋은 파트너로서 오랜 기간 연구를 같이 해오고 있다.

안 교수는 “우리나라가 반도체 소자 생산에 있어서는 세계 1등의 기술력을 갖추고 그만큼의 시장을 차지하고 있지만 거기에 필요한 장비, 소재, 부품은 외국에서 대부분 사서 쓰고 있는 것이 사실이다. 그런데 이 제조 기업에서 생산하는 장비는 전 세계에서 최고의 성능을 가지고 최첨단의 반도체 공정에 활용할 수 있는 장비이기 때문에 ‘우리나라도 EUV 기술을 확보했구나’라는 생각에 정말 뿌듯하다”라고 말했다.