6월 23일 자 「주목할 디스플레이 기술은…“고이동도 산화물 TFT”」 토토사이트 계정탈퇴

6월 23일자 <전자신문>은 '고이동도 산화물 박막트랜지스터(TFT)'에 대해 보도했다. 저전력과 고성능을 모두 잡을 수 있는 고이동도 산화물 박막트랜지스터(TFT)가 차세대 디스플레이 구동 기술로 부상하고 있다. 산화물 TFT가 주목받는 이유는 두 가지다. 누설전류가 적어 소비 전력이 낮고, 저온다결정실리콘산화물(LTPO) 대비 공정이 적어 비용 소모가 작다. 대신 전자 이동도가 낮은 것이 한계로 꼽힌다. 고이동도 산화물 TFT는 이 한계를 극복하고 전자 이동성을 높이려는 것이 특징이다. 전자 이동도가 높을 수록 고성능을 구현할 수 있어, 고성능과 저전력 두 마리 토끼를 모두 잡기 위한 기술 개발이 이뤄지고 있는 것으로 풀이된다.

이에 대해 정재경 융합전자공학부 교수는 "새로운 산화물을 활용해 이동성을 높인 뒤 원자층증착공정(ALD)이나 저온결정화를 통해 수소를 몰아내는 방법으로 안정성을 높이기 위한 연구들이 이뤄지고 있다"고 밝혔다.

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