한양대학교 화학과 김두리 교수가 19일, 수원컨벤션센터에서 개최된 '2022 ASML Korea Tech Talk 논문 컨테스트'에서 우수상을 수상했다.

2022 ASML Korea Tech Talk 논문 컨테스트는 리소그래피 분야에 대한 관심을 고취시키고 젊은 연구자들의 공부와 성장을 응원하고자 ASML 코리아에서 조직한 행사로 지난 10년간 신규 임용된 교수를 대상으로 하였다. ASML은 반도체 미세공정에 필수 장비로 꼽히는 EUV(극자외선)  노광장비의 전 세계 유일 생산 업체로 오늘날 반도체 분야에서 전 세계의 큰 관심을 받고 있는 글로벌 기업이다.

수상한 논문은 'Development of Super-resolution Imaging Method for Nano-patterns and Nano-defects in Semiconductor'로, 최근에 삼성전자 설비기술연구소와 산학 협력 연구한 성과로 개발한 '반도체 초고해상도 이미징 기술'에 대한 연구 결과를 소개한 논문이다.

본 연구에서는 세계 최초로 반도체 멀티컬러 나노이미징이 가능한 초고해상도 광학 현미경 기술을 개발하였으며, 추후에는 이 기술이 EUV 공정 기술로 만들어진 나노패턴 반도체에 대한 혁신 계측 기술의 기반이 될 것으로 기대하고 있으며, 이러한 미래기술 가능성을 인정받아 ASML Young Professor Award가 수여되었다.

김두리 교수는 기존의 광학 현미경의 해상도를 획기적으로 향상시킨 초고해상도 현미경 기술(STORM)을 전문으로 개발하고 있으며, 개발한 최첨단 현미경 기술을 바이오 샘플, 나노 재료, 화학 분자 등 다양한 분야에 적용하는 연구를 중점적으로 하고 있다. 한편 김 교수는 한국여성과학기술단체총연합회의 '2018 미래인재상'을 수상했으며, 2020 HYU 산학협력상 초대 수상자로 선정된 바 있다.