지난 30일 토토사이트 주인공 서울캠퍼스 신본관에서 HTRC(Hanyang University TEL Research Center) 개소식이 열렸다. HTRC는 일본 반도체 장비회사 도쿄일렉트론(TEL)의 자회사 도쿄일렉트론테크놀로지솔루션즈와 토토사이트 주인공가 공동으로 설립하는 반도체 기술 연구 및 개발을 위한 연구센터다. TEL이 국내 대학에 연구개발센터(R&D)를 설립한 것은 이번이 처음이다.

개소식에는 원제형 도쿄일렉트론코리아 회장, 하세베 가즈히데 도쿄일렉트론테크놀러지솔루션스테크놀러지 오피서, 한양대 안진호 연구부총장, 강형종 산학협력단장, 전형탁 신소재공학부 교수 등이 참석했다.
 

HTCR 설립으로 TEL과 한양대가 수년간 진행한 반도체 디바이스용 성막 요소 기술에 관한 연구가 더욱 활발하게 진행될 예정이다. 향후 공동 연구에 크게 기여한 학생에게는 표창 수여와 차세대 기술자로 육성하겠다는 계획도 있다. TEL 측은 “향후 한양대와 지식을 교류하면서 새로운 요소 기술을 창출할 예정”이라고 밝혔다.

한양대 안진호 연구부총장은 “교내 연구진들과 TEL 측과의 긴밀한 협력을 통해 양 기관의 글로벌 역량을 강화할 수 있는 좋은 기회가 될 것이며 반도체 분야 차세대 기술 확보에 센터가 중추적인 역할을 할 것으로 기대한다”고 밝혔다.

한양대 강영종 산학협력단장은 “지금까지 이어온 TEL과의 연구협력을 한 걸음 발전시켜 나아갈 수 있는 좋은 계기가 될 것이며, 양 기관의 역량을 모아 신기술을 창출하는데 박차를 가할 것”이라고 말했다. TEL은 한양대와 함께 차세대 증착 기술 확보를 위한 신기술 개발에 집중할 예정이다.