송윤흡 융합전자공학부 교수와 박진성 신소재공학부 교수 연구팀이 첨단산업 인재양성 부트캠프사업에 참여하여 반도체 전문 인력 양성을 위한 실습 교육 과정을 개발하였다. 국내외 메타버스 플랫폼 개발 전문 'YMX'와 교육영상제작 전문 '모티브랩'과 협업하여 반도체 ALD (Atomic Layer Depositio) 기술과 3D 메타버스 콘텐츠를 결합한 이 교육 프로그램은 장치와 공정 기술의 전문성을 배양하며, 차세대 반도체 전문 인력 양성을 목표로 한다.

반도체 제조 공정에서 가장 중요한 단계 중 하나로 꼽히는 ALD 공정의 실제 장비 사용 실습은 시간당 10만원 이상의 비용이 소요되어 반복 실습이 필수적인 기술 습득에 부담이 상당히 크다는 단점이 있었다. 이를 해결하기 위해 메타버스 기반의 가상 실습 시스템이 도입되었으며, 수강생들은 고화질 ALD 동영상 콘텐츠와 교안을 반복학습 하여 실제 장비를 사용하기 전에 기초적인 장치와 공정 활용 역량을 키울 수 있게 되었다.

국내 최초로 메타버스와 ALD 기술 교육을 접목하여 개발한 이 교육프로그램은 'ALD 동영상 이론 + 3D 메타버스 콘텐츠(장치/공정)'를 결합으로 고비용 장비 실습을 대체하는 혁신적 대안으로 가상 실습 환경에서의 반복적인 학습 기회를 제공한다. 메타버스 SW를 활용해 가상 환경에서 자유롭게 공정 파라미터(반응 시간, 기판 온도 등)를 변경하며 ALD 장치 및 공정을 시뮬레이션할 수 있다. 또한, 다양한 공정 파라미터를 변경하며 실험할 수 있는 자유도를 제공해 실습 효과를 극대화한다. 이를 통해 장치의 사용법 숙달과 공정 기술 이해도를 동시에 높이는 것이 가능해졌다.

프로그램 개발 과정에서 제작된 주요 산출물로는 고화질 동영상과 교안, SW 설명 자료, 실습 결과물(ALD 특성 그래프 등)이 포함된다. 자료들은 지속적으로 업데이트되어 최신 기술을 반영할 예정이며, 매 학기 반복적으로 활용할 수 있어 장기적인 교육 자산으로 교육 효과를 극대화할 전망이다.