한양대학교 신소재공학과 박진성 교수와 재료화학공학과 박태주 교수가 지난 16일 반도체·디스플레이 산업 발전에 기여한 연구·개발자에 주어지는 '머크 스페셜 어워드'의 수상자로 선정됐다. 

박진성 교수는 한양대 정보소재·전자소자 연구실장을 겸직하며 IEEE Transactions on Electron Devices의 편집장을 맡고 있다. 박 교수는 첨단 ALD와 CVD(화학기상증착) 박막 응용을 위한 핵심소재 연구를 이끌었다. 또한, 디스플레이 디바이스용 투명전극소재나 '폼팩터 프리 디스플레이 디바이스'를 위한 소재 발굴에 기여했다. 

박진성 교수는 "ALD 소재와 공정으로 머크 스페셜 어워드를 받게 되어 매우 영광이며, 이 분야에 기여하신 전 세계의 선배와 후배 ALD 연구자 분들에게 깊이 감사한다"라고 전했다. 덧붙여, "ALD 소재와 공정을 반도체·디스플레이 업계에 폭넓게 적용할 수 있도록 최선을 다하겠다"라고 수상소감을 밝혔다. 한편, 박 교수는 한국 정보디스플레이 학회의 보드멤버로 디스플레이 산업 발전에 꾸준히 기여 중이다.

박태주 교수는 나노소자 공학연구실, 원자수준 공정·신소자·첨단 ALD연구센터, 한양대학교 IUCC와 함께 한국학술진흥재단의 영역선택적 원자층공정센터에서 연구 중이다. 박 교수는 그동안 ALD 기술을 연구해온 성과를 인정받아 올해 수상자로 선정됐다. 특히 한국의 젊은 ALD 전문교수들을 이끌며 배터리와 CMP 슬러리를 위한 분말 ALD 공정 연구에 매진해왔다. 박태주 교수는 "이번 수상이 앞으로 ALD 분야에서 머크와 폭넓은 협업을 할 기회가 되었으면 한다"라고 소감을 밝혔다.