11월 30일자 <전자신문>은 최근 반도체 공정에서 플라즈마 밀도와 공간 분포 등을 실시간 측정하는 기술을 개발한 한양대학교 전기생체공학부 정진욱 교수와 인터뷰를 진행했다. 정 교수는 “무선 웨이퍼형 플라즈마 측정 기술로 반도체 장비 이상 여부를 실시간 감지할 수 있다”며 “실시간 특정 기술이 향후 반도체 수율 향상을 이끌 것으로 기대한다”고 말했다.

정 교수 연구팀은 웨이퍼 모양 플라즈마 측정기 주요 지점에 센터를 탐침했다. 센서는 플라즈마 주요 변수인 전자 온도와 이온 밀도 분포 등을 무선 통신으로 실시간 전송한다. 또 정 교수 연구팀은 수신한 데이터를 2차원 공간 분포로 나타내는 분석 프로그램도 개발했다. 현재는 양산 팹에 적용할 수 있도록 측정기 두께를 줄이는 작업을 진행 중이다. 정 교수는 “개발한 측정기를 상용화 할 경우 국산 기술력으로 플라즈마 분포를 측정하며 수율을 향상할 수 있을 것”이라고 했다.

한편 정 교수는 최근 출범한 한양대 스마트반도체연구원 원자수준공정 및 플라즈마연구센터장을 맡았다. 정 교수는 “플라즈마가 반도체 주요 공정에 활용됨에도 다른 분야에 비해 연구 인력이 적은 편”이라며 “학교를 망라한 연구 생태계를 만들어 국내 반도체 기술력 증대에 이바지할 것”이라고 말했다.