정진욱 전기·생체공학부 교수의 ‘전자를 이용한 1nm급 무손상 원자층 식각 원천 기술’(Disruptive 반도체 구조 및 구현 기술)이 2020년 삼성미래기술육성사업 지정 테마 연구지원 과제로 선정됐다. 

삼성전자는 삼성미래기술육성사업의 일환으로 2013년부터 10년간 1조 5000억원을 출연해 미래과학기술 연구를 육성·지원하고 있다. 삼성미래기술육성사업은 매년 상·하반기에 각각 기초과학 소재 ICT 분야에서 지원할 과제를 선정하고, 1년에 한 번 실시하는 ‘지정테마 과제 공모’를 통해 국가적으로 필요한 미래기술분야를 지정해 해당 연구를 지원하고 있다. 올해에는 6개 분야 12개 연구과제에 123억 5000만원이 지원될 예정이다.

이번에 선정된 지정 테마 과제는 ▲혁신적인(Disruptive) 반도체 구조 및 구현 기술 ▲ 차세대 자발광 디스플레이 ▲난치병 치료를 위한 세포치료제 ▲양자컴퓨팅 실용화를 위한 원천 기술 차세대 실감미디어 디바이스 및 처리 기술 ▲B5G & 6G Communication 등 6개 분야이다.

한편 정 교수는 차세대 반도체 개발에 필요한 식각 기술의 권위자로 꼽힌다. 정 교수팀은 전자를 이용해 반도체 기판을 손상시키지 않으면서 반도체 웨이퍼를 1㎚급으로 깎아내는 식각 원천 기술을 개발할 계획이다. 실리콘 기판의 손상 없이 원자를 대면적 식각할 수 있는 기술을 개발하는 것이 목표다. 이 기술이 상용화되면 현재 한계에 다다른 반도체 성능을 1000~1만배 높일 수 있을 것으로 기대된다. 

삼성전자는 삼성미래기술육성사업을 통해 지금까지 기초과학 분야 201개, 소재 분야 199개, ICT 분야 201개 등 총 601개 연구과제에 총 7713억을 투자해왔다. 지원을 받은 연구진 논문은 지금까지 국제학술지에 1241건에 게재됐다. 특히 사이언스(5건), 네이처(2건) 등 최상위 국제학술지에 소개된 논문은 93건에 달한다.