12월 13일 자 <서울신문>은 삼성과 ASML의 업무협약에 대해 보도했다. 반도체 초미세 공정에 필수인 EUV 노광 장비를 독점 생산하는 ASML이 삼성전자와의 MOU를 통해 한국에 R&D센터를 두기로 했다. 이는 메모리 반도체 1위 국가로 차세대 노광 기술 확보에 유리하다는 전략적 판단을 했기 때문으로 분석된다.

차세대 메모리 노광(반도체 기판인 웨이퍼에 미세한 전자회로를 빛으로 그리는 공정) 장비 개발을 위해 반도체 제조 기업과 장비 기업이 손을 잡은 셈이다. 양사 개별 투자 금액 등 구체적인 내용은 밝혀지지 않았지만 R&D센터에서 기술 개발과 함께 시험라인을 두고 성능·기능에 대한 검증까지 하는 게 삼성 입장에선 최상의 시나리오다.

박재근 융합전자공학부 교수는 “공동 연구로 개발 속도가 빨라지고 맞춤형 개발이 가능해지면 삼성이 대만 TSMC를 추격하는 데 있어서도 유리한 입장에 설 수 있다”고 내다봤다.