국내에 EUV 연구 생태계를 만드는 데 크게 기여

안진호 신소재공학과 토토사이트 잘못환전가 3월 4일 제1회 한국반도체디스플레이기술학회 시상식에서 학술상을 수상했다.
반도체디스플레이기술학회가 올해 처음 마련한 시상식은 반도체·디스플레이 분야 소재·부품·장비 관련 학술 발전과 업계 협력 활성화에 기여한 인물을 격려하기 위해 마련됐다. 안진호 교수가 학술상을, 엄평용 유진테크 회장이 김중조상을 수상하며 첫 수상의 영광을 안았다.
안 교수는 국내에 EUV 연구 생태계를 만드는 데 크게 기여했다. 안 교수가 지난 20년 간 동분서주 한 결과 국내 각종 과학기술 연구기관과 반도체 기업에 EUV 소재 성능을 테스트할 연구 인프라가 마련되기 시작했다. 지난 2019년에는 국내외 EUV 관련 기업, 연구기관, 학계의 협력을 이끌어내기 위해 EUV-IUCC(산학협력센터) 설립을 주도하기도 했다.
전자신문에 따르면 안 교수는 "지금까지 연구해왔던 차세대 기술이 양산에 적용되는 것을 본 것만으로도 큰 행운"이라고 밝혔다. 덧붙여 "소재 강국 일본보다 EUV 연구가 10년 정도 늦은 것을 고려하면 아직 가야할 길이 멀다"며 "국내 각계각층 EUV 연구자들 간 더욱 가까운 협업이 필요한 만큼, 이를 실현할 다양한 방법을 고안할 것"이라고 말했다.
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임유정 커뮤니케이터
jujung0213@hanyang.ac.kr