전자신문은 11월 11일 자 기사에서 2년 만에 참여기업과 기관이 3배 늘어난 한양대 극자외선노광기술산업협력센터(이하 EUV-IUCC)에 대해 소개했다.

국내 유일 EUV 산학협력체인 한양대 EUV-IUCC는 최근 회원 기업·기관이 27개를 돌파했다. 2019년 하반기 센터 설립 당시 이솔, 에스앤에스텍, 에프에스티 등 9개 기업으로 시작했지만 2년 만에 3배가 늘어났다.

특히 직접적으로 EUV 사업을 추진하지 않는 소재·부품·장비(소부장) 기업들이 EUV-IUCC에 가입해 주목받고 있다. EUV 사업을 공식화하지 않은 기업이 EUV 기술 생태계에 가세하면서 향후 산업 저변 확대가 예상된다. 

EUV-IUCC 내 기업과 대학은 EUV 소재와 부품 장비를 상호 검증하며 제품 성능을 고도화하고 있다. EUV-IUCC는 소부장 상호 테스트 결과를 데이터로 축적해 EUV 산업 경쟁력 제고에 기여할 계획이다. 기업과 대학에서 개발 중인 각종 EUV 솔루션을 신속하게 평가해 상용화 속도를 높인다는 전략이다.

EUV-IUCC 센터장 안진호 신소재공학부 교수는 “EUV 솔루션 개발은 한 회사만으로는 할 수 없고 협력 생태계가 갖춰져야 탄탄한 기술을 확보할 수 있다”면서 “내년에는 보다 많은 기업 간 기술 교류 및 검증으로 방대한 EUV 관련 데이터를 축적해 기업들이 자생할 수 있도록 지원할 것”이라고 밝혔다.